FPG-550電阻壓阻復(fù)合精密變送器FPG550
◆使用用途
*FPG-550電阻壓阻復(fù)合變送器的設(shè)計(jì)用途是對(duì)測(cè)量范圍在1×10-2…1.5×105Pa之間的氣體進(jìn)行壓力與真空測(cè)量。
*該變送器不能用于測(cè)量可在一定氣氛中發(fā)生反應(yīng)的可燃性或可爆性氣體。
*該變送器須同正華公司的控制顯示儀器或其他控制顯示儀器一起使用。
◆性能原理
*FPG-550復(fù)合變送規(guī)由電阻(皮拉尼)熱傳導(dǎo)真空規(guī)與擴(kuò)散硅壓阻真空規(guī)組合在一起的復(fù)合真空規(guī);一般情況下,電阻(皮拉尼)真空規(guī)從1.0×104Pa至大氣壓,測(cè)量值容易漂移,不穩(wěn)定,壓阻真空規(guī)在此測(cè)量范圍內(nèi)準(zhǔn)確度高並且很穩(wěn)定,但壓阻真空規(guī)又不能測(cè)量高于1.0×103Pa的真空,因此將二者組合,實(shí)現(xiàn)了較寬量程、高準(zhǔn)確度的真空測(cè)量,兩種傳感器始終處于工種壯態(tài)。
*在壓力小于1.0×103Pa時(shí),由電阻熱傳導(dǎo)傳感器的迅號(hào)作為真空測(cè)量輸出,在壓力高于1.0×103Pa時(shí),由擴(kuò)散硅MES壓阻傳感器的迅號(hào)作為真空測(cè)量輸出。
◆技術(shù)參數(shù)
*測(cè)量原理:
1.0×103~1.5×105Pa擴(kuò)散硅(MES)壓阻傳感器
1.0×10-1~1×103Pa電阻(皮拉尼)熱傳導(dǎo)傳感器
*準(zhǔn)確度(氮?dú)猓?br />
9.5.×104~1.1×105Pa讀數(shù)的±2.5%
1×104~9.5×104Pa讀數(shù)的±5%
1×10-1~1.0×104Pa讀數(shù)的±25%
1×10-2~1×10-1Pa可測(cè)
*重復(fù)性:1×10-1~5×103Pa讀數(shù)的5%
*電壓范圍:1、1.0~+10.23VDC, 2、1.2~+8.68VDC
◆電源
*變送器輸入電壓:+15~+30VDC
*紋波:≤5%Vpp
*電流:<300mA(最大啟動(dòng)電流)
*電力消耗:≤5W
*電纜長(zhǎng)度:≤100米(線徑不小于8×0.34平方毫米)
*真空系統(tǒng)連接到公用信號(hào):通過(guò)10KΩ電阻連接(電壓差小于<45V)
*電源地與信號(hào)地分別進(jìn)行
*暴露在真空中的材料:鎢、鉬、不繡鋼、氟橡膠
*傳感絲:鎢絲
*容許壓力:0.2Mpa(絕壓),僅限于惰性氣體
*容許溫度:真空測(cè)量時(shí)+5~+45℃,真空連接件80℃,傳感絲120℃,存儲(chǔ)-5+60℃
*相對(duì)濕度:溫度小于等于+31℃時(shí)候時(shí),相對(duì)濕度小于80%;溫度在+40℃時(shí),相對(duì)濕度降低至50%
*使用:僅限于室內(nèi)使用
*安裝方向:豎直安裝
*危險(xiǎn):該變送器只能連接到符合接地超低電壓要求的電源、儀表或控制儀器上。變送器的電源連接須安有保險(xiǎn)絲。
陶瓷密封真空電極(真空饋件)
真空設(shè)備中往往需要將往需要將交流或直流引入到真空室內(nèi)部,以滿(mǎn)足各種生產(chǎn)工藝的需要。通常將絕緣引線通過(guò)各種方法與各類(lèi)法蘭或真空接頭焊接在一起,再和真空連接。電極引線材料與絕緣材料的選用,取決于工作參數(shù)如電壓、電流、頻率、工作溫度和真空度等。
本系列真空導(dǎo)電引入裝置使用的電極材料,主要為可伐和無(wú)氧銅,而絕緣材料均為95%氧化鋁陶瓷。
陶瓷做為唯一的高絕緣高強(qiáng)材料,而封接材料選用瓷封可伐4J33、不銹鋼、鎳、銅、鎳鐵合金、銅-鎳合金、鉬鋼,焊接材料采用銀銅、銀銅合金或金銅合金。
我公司生產(chǎn)各類(lèi)陶瓷密封真空電極(真空饋件),廣泛用于烘箱、光學(xué)鍍膜、真空熱處理行業(yè)。
◆ 主要技術(shù)參數(shù)
1、工作電壓:500~10KV
2、工作電流:2~100A
3、漏率:1×10-4 Pa.m3/S
4、真空電極導(dǎo)入部件符號(hào)命名
例:B-1.5-2/KF25
A-1.5-4/CF35
字母A為無(wú)法蘭部件,B表示有法蘭部件。
字母后一位為電極直徑mm,第二位為電極數(shù)量,第三位表示法蘭型號(hào)5、真空電極導(dǎo)入部件產(chǎn)品名稱(chēng)一覽表
A-1.5-2 B-3-1/KF25
A-1.5-3 B-3-2/KF25
A-1.5-4 B-3-3/KF25
B-1.5-2/KF25 B-3-4/KF40
B-1.5-2/KF40 B-3-4/CF35
B-1.5-2/CF35 B-3-6/KF40
B-1.5-3/KF25 B-3-6/CF35
B-1.5-3/KF40 B-3-8/KF40
B-1.5-3/CF35 B-3-8/CF35
B-1.5-4/KF25 B-4-1/ Φ50
B-1.5-4/KF40 B-4-2/ Φ50
B-1.5-4/CF35 B-4-3/ Φ50
B-1.5-4/CF35專(zhuān)用 B-4-4/ Φ50
B-4-2/KF40 B-10-1/Φ40
B-4-2/CF35
B-4-3/KF40
B-4-3/CF35
B-4-4/KF40
B-4-4/CF35
ATG-530型1T精密真空變送器
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