上海華巖儀器設備有限公司供應RBLD-201型氦質譜檢漏儀
RBLD201型氦質譜檢漏儀是我公司采用INFICON質譜模塊開發而成的高靈敏度,高可靠性的一款產品.具有啟動速度快,移動方便,靈敏度高,性能穩定等特點.采用人性化設計,操作簡單,適用于集成電路,半導體,電子元器件,繼電器等行業。
技術參數:
可檢氣體:4He
最小可檢漏率:
低靈敏度(純逆向氣流) : 6 .0x 10-10 Pa m3/s
高靈敏度:5 .0x 10-12 Pa m3/s
測量范圍 :1.0x 10-2 Pa m3/s--- 5 .0x 10-12 Pa m3/s
響應時間 (至訊號的63%) :<1秒
最大進氣口壓強
連接: 低靈敏度:2000Pa
連接: 高靈敏度:10Pa
預熱時間:≤ 2分鐘
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上海華巖儀器設備有限公司供應RBLD-301檢漏儀
RBLD系列氦質譜檢漏儀是基于INFICON 成套質譜模塊開發而成的工業用氦質譜檢漏儀.它繼承了INFICON系列產品具有的精確,穩定,高重復性,最小維護,低成本和易使用等優點,在此基礎上,結合睿寶多年來在真空行業積累的經驗,使其成為高性價比,快速且穩定的工業用氦質譜檢漏儀。
若檢漏儀需要頻繁地維修或維護就很難保證它的重復性。設計于長期穩定運行和結合智能與自動調整的RBLD系列可在最小維護的需求下提供很高的可靠性。此外,RBLD系列是唯一保證離子源燈絲至少可使用三年的檢漏儀。INFICON的三年保修期是舉世無雙的,它的意義遠遠不只是在燈絲上節省費用。全面的系統監測和優質的燈絲是高在機運行時間、低成本、溫度穩定性和長期系統穩定性的重要因素。
適用于大多數測試系統的配置, RBLD系列在大多數常用測試條件下都可提供快速和高重復性的結果。可配置于粗檢和精檢模式,在每個模式中寬的靈敏度范圍可使用靈活的測試技術。卓越的線性特性可在不同的漏率要求下對各部件每個漏點進行無需再校準的檢漏。
RBLD系列具備完善的系統監測和本機診斷功能。儀器精細地監測與控制運行過程中的關鍵參數。診斷碼自動提示,提供的診斷碼結合用戶手冊便于進行故障查找。獨特的渦輪分子泵和及其電子學單元保證最長的在機運行時間。簡單與牢固的雙流式渦輪分子泵提供轉子位置無比的高穩定性和抗震性,大大地延長了渦輪泵的使用壽命。
操作方式:觸摸屏中文界面
外形尺寸:RBLD201:46x87x61/RBLD301:67x32x60 (寬 x高 x 深) 厘米
質譜儀:180° 磁偏轉
燈絲:2根敷氧化釔的銥陰極
真空連接:DN 16 KF / DN 25 KF
電源電壓:AC220V(±10%)
頻率:50/60 Hz
功率:RBLD201:<800W/RBLD301:<500W
最大進氣口壓強:粗檢模式:1500Pa/低靈敏度 (純逆向氣流):100Pa/高靈敏度(順流檢漏):30Pa
預熱時間:≤ 3分鐘
可檢氣體:He2 He3 He4
最小可檢漏率: 低靈敏度(純逆向氣流):2.0×10-09 Pam3/s;靈敏度(順流檢漏):2.0×10-11 Pam3/s
測量范圍:2.0×10-11 Pam3/s-------2.0×10-02 Pam3/s
響應時間 (至訊號的63%) :<1秒
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