STY-3導(dǎo)電型號測試儀
1、概述
STY-3型導(dǎo)電型號測試儀是嚴(yán)格按照SEMIMF42-1105、GB/T1550-1997(非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型的標(biāo)準(zhǔn)測試方法)中的熱探針法及整流導(dǎo)電類型測試方法設(shè)計的導(dǎo)電類型鑒別儀。
本儀器熱探筆內(nèi)裝有加熱和控溫組件,自動加熱并使溫度維持在40‑60℃范圍內(nèi),冷熱探筆在半導(dǎo)體材料上產(chǎn)生的熱電動勢及整流法產(chǎn)生的電勢差經(jīng)低噪聲、低漂移的集成運算放大器放大后,用液晶顯示器件(LCD)顯示及檢流計指示型號方向。儀器靈敏度分高、低兩檔,可在廣泛的電阻率(從高阻單晶到重?fù)絾尉В┓秶鷥?nèi)判別半導(dǎo)體材料型號。
2、技術(shù)參數(shù)
(1)可判別鍺、硅材料的電阻率范圍:鍺:非本征鍺~10‑4Ω·cm 硅:104~10-4Ω·cm
經(jīng)國內(nèi)外實驗證明:在室溫情況下,熱電法對于電阻率低于1000Ω·cm的硅單晶測量結(jié)果可靠;在室溫情況下,整流法對于電阻率1-1000Ω·cm的硅單晶測量結(jié)果可靠
(2)鍺、硅單晶直徑及長度:不受限制
(3)顯示方式:由顯示N和P的液晶器件直接指示,同時中心刻度為零位指示器也在指示型號,指針向左偏轉(zhuǎn)被測樣品為N型,指針向右偏轉(zhuǎn)被測樣品為P型
(4)探針:先用SEMIMF42-1105標(biāo)準(zhǔn)中建議的不銹鋼作冷熱探針材料,針尖為60℃錐體,熱筆溫度自動保持在40‑60℃范圍內(nèi),冷筆與室溫相同。整流法選用硬質(zhì)合金作探針
(5)電源及功耗:AC220V±10%,50HZ交流供電,最大功耗(熱筆加熱狀態(tài))小于40W,平均功耗≈10W
(6)外型尺寸:370×320×110(mm)
(7)重量:約5.3kg
STY-1導(dǎo)電型號測試儀
1、概述
STY-1型導(dǎo)電型號測試儀是嚴(yán)格按照SEMIMF42-1105、GB/T1550-1997(非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型的標(biāo)準(zhǔn)測試方法)中的熱探針法設(shè)計的導(dǎo)電類型鑒別儀。
本儀器熱探筆內(nèi)裝有加熱和控溫組件,自動加熱并使溫度維持在40-60℃范圍內(nèi),冷熱探筆在半導(dǎo)體材料上產(chǎn)生的熱電動勢,經(jīng)低噪聲、低漂移的集成運算放大器放大后,用寬表面檢流計指示型號方向,并可定量測出熱電流的數(shù)值大小。儀器靈敏度可調(diào),可在廣泛的電阻率(從高阻單晶到重?fù)絾尉В┓秶鷥?nèi)判別半導(dǎo)體材料型號。
2、技術(shù)參數(shù)
(1)可判別鍺、硅材料的電阻率范圍:鍺:非本征鍺~10-4Ω·cm,硅:103~10-4Ω·cm
實驗證明:在室溫情況下,對于電阻率低于1000Ω·cm的N型和P型硅,本方法結(jié)果可靠。
(2)熱電流測量范圍:0~±1μA分六個量程:±3nA、±10nA、±30nA、±100nA、±300nA、±1μA
最大偏轉(zhuǎn)靈敏度:1×10-11A/格
(3)鍺、硅單晶直徑及長度:不受限制。
(4)顯示方式:中心刻度為零位的寬表面指針指示器,指針向正方向偏轉(zhuǎn)被測樣品為P型,指針向負(fù)方向偏轉(zhuǎn)被測樣品為N型。
(5)探針:選用SEMIMF42-1105標(biāo)準(zhǔn)中建議的不銹鋼作探針材料,針尖為60°錐體,熱筆溫度自動保持在40-60℃范圍內(nèi),冷筆與室溫相同。
(6)電源及功耗:AC220V±10%,50HZ交流供電,耗電小于10W。
(7)外型尺寸:170×160×230(mm)
(8)重量:約2.5kg
NCT-1無接觸型號測試儀
1、概述
本儀器根據(jù)表面光電壓原理,無接觸、無損傷測量硅材料的導(dǎo)電類型;
本儀器可測量研磨面或拋光面的單晶硅和鑄造多晶硅導(dǎo)電類型;
本儀器僅適用于測量薄片材料(厚度≤1mm)的導(dǎo)電類型。
2、技術(shù)參數(shù)
(1)產(chǎn)品可通過數(shù)碼管直接讀取樣品的型號
(2)測量范圍:厚度≤1mm,電阻率≥0.5Ω·cm
(3)輸入阻抗:1012Ω/10pF
(4)工作電源:AC220V/50HZ
(5)實際功耗:<30W
(6)外型尺寸:長*寬*高=260*230*133(mm)
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