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KDB-1涂層電阻率/方塊電阻測試儀（廣量程）
1、概述
隨著新型電子薄膜、半導體薄膜和金屬箔的不斷發(fā)展，市場現(xiàn)有的四探針方阻測試儀所提供的測試條件，如量程、探針壓力、曲率半徑、測試電壓及測試電流的調節(jié)范圍已遠遠不能滿足新型薄膜的測試要求。
KDB-1涂層電阻率/方塊電阻測試儀按照國際標準SEMIMF374-0307的要求，對不同厚度、不同材質的薄膜采用不同的探針壓力及曲率半徑，以保證探針接觸樣品表面時不會產生機械損傷，同時加載到樣品上的電壓和測試電流方面，實現(xiàn)了廣量程調節(jié)，電流從最小的0.2μA可上調到1000mA，1、4探針加載到樣品上的電壓從最低8V可上調到80V；同時在探針與樣品接觸后才延時通電，保證不會因接觸火花或過大的電流，過高的電壓在電氣上損傷薄膜。
2.技術參數(shù)
（1）測量范圍
方阻測量范圍：1×10-5～2×106Ω/□，最小分辨率1×10-5Ω/□
電阻率測量范圍：1×10-6～2×105Ω·cm，最小分辨率1×10-6Ω·cm或1×10-8Ω·cm
金屬箔最低電阻率：1×10-8Ω·m，最小分辨率1×10-8Ω·m
（2）測試電壓
（1μA～10mA檔）12～80V連續(xù)可調
（100mA檔）8～36V連續(xù)可調
（1000mA檔）8～15V連續(xù)可調
（3）恒流源
測量電流：DC0.4μA～1000mA七檔連續(xù)可調
量程：0.2μA～1μA、2μA～10μA、20μA～100μA、0.2mA～1mA、2mA～10mA、20mA～100mA、200mA～1000mA
（4）直流電壓表
1μA～10mA檔，測量范圍：0～199.99mV，分辨率：10μV
100mA、1000mA檔，測量范圍：0～19.999mV，分辨率：1μV
（5）供電電源
AC220V±10%，50/60Hz，功率40W
（6）使用環(huán)境
溫度：23±2℃，相對濕度≤60%
（7）重量、體積
主機重量：9Kg，體積：495×445×153（單位mm，長×寬×高）
該儀器可選配KDY四探針測試系統(tǒng)連接計算機軟件進行測量，測試結果更加精確、簡便，測量數(shù)據自動保存，可進行導出excel等操作，便于保存數(shù)據
KDB-3雙組合四探針方阻/電阻率測試儀
1、概述
上海華巖儀器設備有限公司的KDB-3型雙組合四探針方阻/電阻率測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延、離子注入、化學氣相、或其他淀積工藝在硅襯底上形成的薄膜方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。
雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中，在測試樣品的每個測量位置上，以兩種不同的方式（配置）將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測量。單組合四探針相比，用較小間距的探針頭就可以進行高精度的測量，從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。
本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的專利產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機可加配KDY測量系統(tǒng)，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。
2、主機技術能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19999Ω·cm
可測方塊電阻：0.001～199999Ω/□
（2）恒流源：
輸出電流：DC0.001～100mA五檔連續(xù)可調
量程：0.001～0.01mA0.01～0.10mA0.10～1.0mA1.0～10mA10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸入阻抗：≥1000MΩ
（4）測量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%
整機測量精度：1－1000歐姆·厘米≤3%
（5）供電電源：AC220V±10%50/60Hz功率：12W
（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃相對濕度：≤65%
無較強的電場干擾，電源隔離濾波，無強光直接照射
（7）重量、體積：
主機重量：6.5kg
體積：420（含前把手）×360×150（含底腳）（單位：mm長度×寬度×高度）
該儀器可選配KDY四探針測試系統(tǒng)連接計算機軟件進行測量，測試結果更加精確、簡便，測量數(shù)據自動保存，可進行導出excel等操作，便于保存數(shù)據。
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當前位置：
