上海華巖儀器設備有限公司供應SZT-1型數字式四探針測試儀
SZT-1型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻(方塊電阻),換上特制的四探針測試夾,還可以對金屬導體的低中值電阻進行測量。此外,探針經過特殊加工后,還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導體材料、器件廠、高等院校化學物理系、科研單位,對半導體材料的電阻性能測試。
本儀器測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針,定位準確,游移率小,使用壽命長。
技術參數:
1. 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
電阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω
導電類型鑒別:電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2. 可測半導體材料尺寸
直徑:φ15~100 mm
長度:≤400mm
3. 測量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:31/2,數顯,極性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續可調。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數±2個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
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上海華巖儀器設備有限公司供應SZT-2A四探針測試儀 主要說明:
1.主機采用世界領先的先進電路設計,所測數值更精、更快、更準(一代為傳統式電路,缺點:體積大,速度慢,元器件繁多導致影響機器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數碼管顯示),手自一體(自動是標配,手動手持是自選)。
3.匹配電腦接口及軟件(有232接口和USB兩種接口),讓操作簡便明了化(可直接連接電腦,電腦進行自動運算根據輸入指定厚度,自動比照并修正系數,使被測結果更精確,數據可儲藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置,接近被測物體時實行自動減速,避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(領先于國內市場上任何一款同類產品的測試架,老一代為手動)。
5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時,標準系數為隨選擇鍵自動運算,無需另外手工調整,省去了原儀器的諸多麻煩。
6.本儀器的最大分辨率為0.1mΩ。
7.測試探頭為鎢針,市場上多為高速鋼針。
8.每次測量均有內置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。
9.整機測量標準不確定度:≤ 2%(國內其它廠家誤差為≤ 5% )
10. 技術參數:
1). 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2). 可測半導體材料尺寸
直徑:5mm-130cm
長度:≤400mm
如果使用手持探針,尺寸范圍可以延伸
3). 測量方法:
軸向、斷面均可
4). 顯示方式:41/2,數顯,極性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示。
5). 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
10.SZT-2A 四探針測試儀器的價格為16800元/套和21800元/套 兩種
21800元/套 為帶電腦接口 <接口功能為當硅片的厚度<1mm時自動修正讀數,使得測量出的數據準確率為100%,被測試的數據自動生成表格并可以打印,可以隨時保存和刪除。
SZT系列部分客戶名單
客戶名稱
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所屬行業
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購買使用日期
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武漢理工大學(國家一級實驗室)
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科研院所
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2007年9月
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中科院寧波材料技術與工程研究所
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科研院所
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2007年9月
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中科院沈陽金屬研究所
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科研院所
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2007年11月
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解放軍總后建筑工程研究所
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科研院所
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2006年9月
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河北大學
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大專院校
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2008年1月
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四川大學
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大專院校
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2008年1月
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天津科技大學
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大專院校
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2008年4月
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浙江理工大學
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大專院校
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2008年12月
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朝陽無線電廠
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廠礦企業
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2007年9月
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晶澳太陽能有限公司
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廠礦企業
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2007年12月
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世宗半導體(中國)材料有限公司
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廠礦企業
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2008年1月
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惠聯高佳光伏科技(無錫)有限公司
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廠礦企業
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2007年3月
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山東力諾
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廠礦企業
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2008年5月
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北京同方股份有限公司
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廠礦企業
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2009年3月
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上海華巖儀器設備有限公司供應SZT-2四探針測試儀 主要說明:
1.主機采用世界領先的先進電路設計,所測數值更精、更快、更準(一代為傳統式電路,缺點:體積大,速度慢,元器件繁多導致影響機器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數碼管顯示)。
3.匹配電腦接口及軟件,讓操作簡便明了化(可直接連接電腦,電腦進行自動運算根據輸入指定厚度,自動比照并修正系數,使被測結果更精確,數據可儲藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置,接近被測物體時實行自動減速,避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(領先于國內市場上任何一款同類產品的測試架,老一代為手動)。
5.本儀器電壓檔為自動調整,電流檔為半自動.不清楚被測物體阻值時,可按菜單先選擇100MA電流檔進行自動搜索(電流可由高至低自動搜索,不能由低向高搜索),當選擇好電流檔后,電壓會自動進行調整.
6. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時,標準系數為機器自帶自調,無需另外手工調整,省去了原儀器的諸多麻煩。
7.測試探頭為鎢針,市場上多為高速鋼針。
8.每次測量均有內置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。
9.整機測量標準不確定度:≤ 2%(國內其它廠家誤差為≤ 5% )
技術參數:
1. 測量范圍:
電阻率:10的-3次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5次方Ω/□
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2. 可測半導體材料尺寸
直徑:5mm-130cm
長度:≤400mm
3. 測量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:41/2,數顯,極性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續可調。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數±1個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
8.外型尺寸:260×160×215mm
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